Vivian Aida Carieta, 4211415016 (2020) PENGARUH SUHU ANNEALING TERHADAP SIFAT OPTIK DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS ZINC OXIDE (ZnO) DOPING GALLIUM (Ga) DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING. Under Graduates thesis, Universitas Negeri Semarang.

Preview

PDF (PENGARUH SUHU ANNEALING TERHADAP SIFAT OPTIK DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS ZINC OXIDE (ZnO) DOPING GALLIUM (Ga) DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING) - Published Version Download (1MB) | Preview

Abstract

Film tipis ZnO doping Ga telah ditumbuhkan di atas substrat corning glass dengan metode DC magnetron sputtering. Deposisi dilakukan dengan daya plasma 30 W, tekanan gas Argon 500 mTorr, dan suhu substrat 300 ˚C selama 60 menit. Treatment annealing dilakukan selama 40 menit dengan variasi suhu 250 ˚C, 350 ˚C dan 450 ˚C. Tujuan penelitian ini untuk mengetahui pengaruh suhu annealing terhadap struktur kristal, sifat optik dan sifat listrik dari film tipis. Berdasarkan hasil analisis X-ray Diffraction (XRD) menunjukkan bahwa film tipis memiliki bentuk kristal heksagonal wurtzite yang bersifat polikristalin pada orientasi puncak dominan (002) dan optimal pada suhu annealing 250 ˚C. Sifat optik dari hasil karakterisasi Spektrometer UV-Vis memiliki nilai transmitansi hingga 88,2% dengan nilai energi band gap tinggi mencapai 3,72 eV pada suhu annealing 450 ˚C. Sifat listrik dari I-V meter pada suhu annealing 250 ˚C menunjukkan nilai resistivitas 2,58 x 104 Ωcm yang tergolong rendah dibanding suhu lain.

Actions (login required)

View Item