RANCANG BANGUN THERMAL VACUUM EVAPORATOR UNTUK PELAPISAN FILM TIPIS DENGAN ALGORITMA FUZZY-PID

Andi Suhono , 5301414085 (2019) RANCANG BANGUN THERMAL VACUUM EVAPORATOR UNTUK PELAPISAN FILM TIPIS DENGAN ALGORITMA FUZZY-PID. Under Graduates thesis, UNNES.

Preview

PDF (RANCANG BANGUN THERMAL VACUUM EVAPORATOR UNTUK PELAPISAN FILM TIPIS DENGAN ALGORITMA FUZZY-PID) - Published Version
Download (1MB) | Preview

Abstract

Teknologi Film tipis merupakan teknologi modern yang sudah banyak digunakan terutama pada lapisan konduktor-semikonduktor. Terutama nano teknologi yang dewasa ini berkembang dengan pesat, itu terkait dengan teknologi lapisan film tipis. Salah satu metode yang digunakan untuk pelapisan film tipis adalah Physical Vapor Deposition, metode tersebut memanfaatkan pembakaran material dalam ruang vakum dengan sistem evaporasi dan deposisi. Penelitian menghasilkan sebuah alat pelapisan film tipis yang bernama Thermal Vacuum Evaporator. Dalam metode PVD tidak lepas dari pengaturan suhu filamen yang digunakan untuk membakar material dalam ruang vakum. Maka dari itu peneliti menggunakan algoritma fuzzy-PID untuk mengendalikan panas, dengan tujuan agar memperoleh lapisan film tipis yang baik dan efektif. Sistem kendali Fuzzy-PID memanfaatkan logika Fuzzy untuk mengolah error dan delta error menjadi nilai Kp, Ki, dan Kd. Yang kemudian nilai Kp, Ki, dan Kd tersebut digunakan untuk tuning parameter sistem Kendali PID. Algoritma sistem kendali Fuzzy-PID didesain menggunakan software Simulink MATLAB. Di dalam desain tersebut dihasilkan membership function, rule base, desain pemanas. Dengan menggunakan software Simulink MATLAB sistem kendali Fuzzy-PID diuji menggunakan Step Respon dan Ramp Respon. Penelitian ini menggunakan metode eksperimen yang menghasilkan alat Thermal Vacuum Evaporator yang menggunakan algoritma sistem kendali Fuzzy-PID. Algoritma tersebut mengendalikan pemanas melalui mikrokontrol ATMEGA 2560 yang telah diprogram dengan metode Fuzzy-PID. Dengan suhu maksimal 500°C. Namun alat ini belum mampu digunakan untuk pelapisan film tipis, dikarenakan suhu pemanas hanya mencapai suhu 500°C.

Item Type:	Thesis (Under Graduates)
Uncontrolled Keywords:	Film Tipis, PVD, Fuzzy-PID, Arduino, Thermal Vacuum Evaporator
Subjects:	T Technology > TK Electrical and Electronic Engineering
Fakultas:	Fakultas Teknik > Pendidikan Teknik Elektro, S1
Depositing User:	budi Budi santoso perpustakaan
Date Deposited:	11 Jun 2020 18:31
Last Modified:	11 Jun 2020 18:31
URI:	http://lib.unnes.ac.id/id/eprint/36748

Actions (login required)

View Item