Sujarwata, 196101041989031001 (2016) Sensor Berbasis Film Tipis Untuk Deteksi Gas : NH3, Buang Kendaraan Bermotor Dan CO. In: Seminar Hasil Penelitian Kapasitas Riset, 11-12 Februari 2016, Yogyakarta.

Preview

PDF - Published Version Download (822kB) | Preview

Abstract

Sensor gas berbasis film tipis copper phthalocyanine (CuPc) telah dibuat dalam penelitian ini untuk mendeteksi gas: emisi gas buang kendaraan bermotor, NH3 dan CO. Lapisan silikon dioksida (SiO2) sebagai insulator telah dideposisikan pada permukaan substrat Si dengan metode thermal. Material CuPc sebagai lapisan aktif sensor gas dideposisi di atas SiO2 dengan metode vacuum evaporator (VE) suhu ruang dengan tekanan 8 x10-4 Pa. Pembuatan sensor gas berbasis film tipis CuPc berstruktur FET dengan panjang channel 100 μm menggunakan metode VE, sedangkan proses perencanaan dengan teknik lithography. Tahapan pembuatan sensor gas sebagai berikut: permulaan dilakukan pencucian substrat Si/ SiO2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan deposisi elektroda source dan drain di atas substrat dengan metode vacuum evaporator, deposisi film tipis diantara source/ drain dan diakhiri dengan deposisi gate. OFET kemudian karakterisasi dengan El-Kahfi 100 untuk menentukan karakteristik keluaran dan mobilitas pembawa muatan. Hasil pengujian karakterisasi I-V menunjukkan arus drain-source (IDS) dipengaruhi oleh perubahan tegangan gate (VG). Tegangan VG semakin besar maka IDS yang dihasilkan semakin meningkat. Karakterisasi sensor gas diperoleh bahwa daerah aktif untuk VD adalah 2,79 V sampai dengan 3,43 V dan arus ID 0,577 10-5 A sampai dengan 0,0013 A. Sedangkan untuk daerah saturasi OFET pada tegangan VD dari 3,43 V sampai dengan 9 V dan ini merupakan daerah cut off. Pengujian kelayakan sensor gas adalah menentukan: waktu tanggap (response time) dan waktu pemulihan (recovery time ). Waktu tanggap sensor terhadap gas NH3, buang kendaraan bermotor,dan CO berturut-turut: 75 s, 135 s dan 150 s. Sedangkan waktu pemulihan berturut-turut: 90 s, 150 s dan 225 s. Sensor gas berstruktur FET berbasis film tipis CuPc paling baik untuk mendeteksi adanya gas NH3.

Actions (login required)

View Item