Fatiatun , 4211411036 (2015) PENGARUH SUHU DEPOSISI TERHADAP SIFAT FISIS FILM TIPIS SENG OKSIDA DOPING GALIUM OKSIDA DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING. Under Graduates thesis, UNIVERSITAS NEGERI SEMARANG.

Preview

PDF - Published Version Download (1MB) | Preview

Abstract

Film tipis ZnO doping berhasil dideposisi pada substrat corning glass menggunakan metode dc magnetron sputtering. Deposisi dilakukan pada tekanan argon 500 mTorr dengan variasi suhu deposisi 300 c,325c ,350 c 375 c,400 c, 425 c dan 450 c dan daya plasma 30 W. Karakterisasi struktur dengan EDX menunjukkan adanya unsur Zn (73 %), Ga (2,56 %), dan O (21,77 %). Hasil XRD menunjukkan peningkatan suhu deposisi menyebabkan film tipis ZnO mempunyai intensitas puncak yang tinggi. Analisis FWHM pada suhu deposisi 300 C menunjukkan nilai paling kecil sebesar 0,24° pada puncak difraksi (002), serta intensitas paling tinggi pada suhu deposisi 400 C. Analisis SEM menunjukkan film tipis ZnO yang ditumbuhkan pada suhu 400 C mempunyai ukuran butir yang paling besar. Karakterisasi sifat optik dengan menggunakan UV-Vis menunjukkan transmitansi optik paling tinggi terdapat pada suhu deposisi 300 C sebesar 90%.Nilai band gapdan transmitansi mengalami penurunan dengan peningkatan suhu deposisi, band gap terbesar 3,34 eV pada suhu 300 C. Nilai ketebalan film paling tinggi yang dihasilkan sebesar 157 nm pada suhu deposisi 400 C. Hasil analisis sifat listrik menggunakan I-V meter menunjukkan pada peningkatan suhu deposisi menyebabkan nilai konduktivitas listrik menurun secara signifikan. Film tipis ZnO pada suhu 300 C deposisi memiliki nilai konduktivitas paling tinggi yaitu 2,15x10^-3 (ohmmeter)^-1 dan konduktivitas paling rendah sebesar 1,79x10^-4 (ohmmeter)^-1 Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa ada hubungan antara hasil analisis karakterisasi struktur, sifat optik dan sifat listrik yang dihasilkan bahwa pada penggunaan suhu deposisi 300 C mempunyai sifat fisis yang cocok untuk aplikasi TCO.

Actions (login required)

View Item