Sujarwata, 196101041989031001 and Fianti, 197901212005012002 and Langlang Handayani, 196807221992032001 (2017) PEMBUATAN SENSOR BERBASIS FILM TIPIS UNTUK DETEKSI GAS : CO, CO2, NH3, NO, NO2 SEBAGAI UPAYA PEMANTAU KUALITAS UDARA. [Experiment]

Preview

PDF - Published Version Download (3MB) | Preview

Abstract

Material semikonduktor organik CuPc (Copper Phthalocyanine) memiliki sifat sensitivitas tinggi terhadap gas, mudah mengabsorpsi gas dan dapat dioperasikan pada suhu ruang. CuPc sebagai lapisan aktif sensor gas berbasis film tipis sangat sensitif dalam merespon gas beracun. Tujuan penelitian ini membuat sensor berbasis film tipis dengan konfigurasi FET (field effect transistor) berstruktur bottom contact yang dapat mendeteksi gas beracun, seperti: CO, CO2, NH3, NO dan NO2. Eksperimen pendahuluan dengan melakukan deposisi film tipis CuPc di atas substrat Si/SiO2, kemudian dikarakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (X-RD) dan Scanning Electron Microscopy (SEM) serta dilanjutkan dengan analisis Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (SEM-EDX). Hasil karakterisasi X-RD dan SEM untuk menentukan film tipis optimum yang dimanfaatkan dalam proses pembuatan sensor gas. Pembuatan sensor gas dilakukan dengan panjang channel (jarak antara source dan drain) 100 μm menggunakan metode vacuum evaporator (VE), sedangkan proses perencanaan dengan teknik lithography. Tahapan pembuatan sensor gas, sebagai berikut: substrat Si/SiO2 dicuci dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan deposisi elektroda source (S) dan drain (D) di atas substrat dengan metode VE. Selanjutnya deposisi film tipis CuPc diantara elektroda S/D sebagai kontak resistansi dan diakhiri proses deposisi elektroda gate (G). Sensor gas yang sudah dibuat kemudian di karakterisasi menggunakan elektrometer El-Kahfi 100 untuk menentukan karakteristik keluaran dan mobilitas pembawa muatan. Luaran dalam penelitian ini adalah prototip sensor berbasis film tipis untuk deteksi gas beracun dan publikasi jurnal ilmiah. Prototipe tersebut dapat dimanfaatkan untuk monitoring kualitas udara dan pengembangan laboratorium fisika material. Penelitan lanjutan tahun berikutnya akan merancang dan membuat alat uji kelayakan sensor yang diaplikasikan sebagai sensor gas CO, CO2, NH3, NO dan NO2. Alat-alat yang digunakan dalam pembuatan alat uji kelayakan sensor gas, meliputi: glass chamber, electrometer, tabung gas uji, tabung gas N2, flow-meter, regulator, valve dan alat pendukung lain. Tujuan uji kelayakan sensor gas untuk menentukan konduktivitas, kesensitivan, waktu tanggap (response time) dan waktu pemulihan (recovery time ).

Actions (login required)

View Item